Efremov, A. M.; Smirnov, S. A.; Betelin, V. B.; Kwon, K.-H. О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 ВО ФТОР- И ХЛОРСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛАЗМЕ. ХИХТ 2023, 66, 54-62.