Efremov, A. M.; Bobylev, A. V.; Kwon, K.-H. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В СМЕСИ CF4 + C4F8 + O2: ЭФФЕКТ СООТНОШЕНИЯ CF4/C4F8. ХИХТ 2024, 67, 29-37.