Efremov, A. M.; Smirnov, S. A.; Betelin, V. B.; Kwon, K.-H. О ВЛИЯНИИ ИНЕРТНОГО ГАЗА-НОСИТЕЛЯ НА КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ И КИНЕТИКУ ТРАВЛЕНИЯ ZrO2 В ПЛАЗМЕ ХЛОРА. ХИХТ 2024, 67, 40-54.