Efremov, A. M.; Smirnov, S. A.; Betelin, V. B.; Kwon, K.-H. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ ZnO В БРОМИСТОМ ВОДОРОДЕ: ВЛИЯНИЕ ИНЕРТНОГО ГАЗА-НОСИТЕЛЯ. ХИХТ 2024, 67, 86-95.