Efremov, A. M.; Bobylev, A. V.; Kaznacheeva, E. M.; Kwon, K.-H. О ВЛИЯНИИ НАЧАЛЬНОГО СОСТАВА СМЕСИ CF4 + CHF3 + O2 НА ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКУ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ. ХИХТ 2024, 68, 39-47.