Miakonkikh, A. V.; Kuzmenko, V. O.; Efremov, A. M.; Rudenko, K. V. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КОНЦЕНТРАЦИЯ АТОМОВ ФТОРА В СМЕСИ SF6 + Ar + He: ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ Ar/He, ДАВЛЕНИЯ И ВКЛАДЫВАЕМОЙ МОЩНОСТИ. ХИХТ 2025, 68, 42-49.