Miakonkikh, A. V.; Kuzmenko, V. O.; Efremov, A. M.; Rudenko, K. V. ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ В СМЕСИ SF6 + He + O2: ВЛИЯНИЕ ДАВЛЕНИЯ ПРИ ВЫСОКИХ И НИЗКИХ СОДЕРЖАНИЯХ КИСЛОРОДА. ХИХТ 2025, 69, 29-38.