Tarelkin, S. A.; Kornilov, N. V.; Kuznetsov, M. S.; Luparev, N. V.; Martyushov, S. Y.; Timoshenko, V. O. ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ГОМОЭПИТАКСИАЛЬНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ АЛМАЗНЫХ СЛОЕВ НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКУЮ АЛМАЗНУЮ ПОДЛОЖКУ, ЛЕГИРОВАННУЮ АЗОТОМ. ХИХТ 2025, 68, 60-65.