Efremov, A. M., Smirnov, S. A., Betelin, V. B., & Kwon, K.-H. (2024). ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ ZnO В БРОМИСТОМ ВОДОРОДЕ: ВЛИЯНИЕ ИНЕРТНОГО ГАЗА-НОСИТЕЛЯ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 67(12), 86-95. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20246712.7081