Efremov, A. M., Bobylev, A. V., Kaznacheeva, E. M., & Kwon, K.-H. (2024). О ВЛИЯНИИ НАЧАЛЬНОГО СОСТАВА СМЕСИ CF4 + CHF3 + O2 НА ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКУ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 68(1), 39-47. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20256801.7096