Tarelkin, S. A., Kornilov, N. V., Kuznetsov, M. S., Luparev, N. V., Martyushov, S. Y., & Timoshenko, V. O. (2025). ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ГОМОЭПИТАКСИАЛЬНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ АЛМАЗНЫХ СЛОЕВ НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКУЮ АЛМАЗНУЮ ПОДЛОЖКУ, ЛЕГИРОВАННУЮ АЗОТОМ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 68(9), 60-65. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20256809.11y