EFREMOV, A. M.; SMIRNOV, S. A.; BETELIN, V. B.; KWON, K.-H. О ВЛИЯНИИ ИНЕРТНОГО ГАЗА-НОСИТЕЛЯ НА КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ И КИНЕТИКУ ТРАВЛЕНИЯ ZrO2 В ПЛАЗМЕ ХЛОРА. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», v. 67, n. 11, p. 40-54, 5 ноя. 2024.