EFREMOV, A. M.; BOBYLEV, A. V.; KAZNACHEEVA, E. M.; KWON, K.-H. О ВЛИЯНИИ НАЧАЛЬНОГО СОСТАВА СМЕСИ CF4 + CHF3 + O2 НА ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКУ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», v. 68, n. 1, p. 39-47, 28 ноя. 2024.