MIAKONKIKH, A. V.; KUZMENKO, V. O.; EFREMOV, A. M.; RUDENKO, K. V. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КОНЦЕНТРАЦИЯ АТОМОВ ФТОРА В СМЕСИ SF6 + Ar + He: ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ Ar/He, ДАВЛЕНИЯ И ВКЛАДЫВАЕМОЙ МОЩНОСТИ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», v. 68, n. 3, p. 42-49, 10 янв. 2025.