EFREMOV, A. M.; BETELIN, V. B.; KWON, K.-H. ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ Ar/He НА СОСТАВ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКУ ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В CF4- И C4F8- СОДЕРЖАЩИХ ТРЕХКОМПОНЕНТНЫХ СМЕСЯХ. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», v. 68, n. 6, p. 41-51, 14 май 2025.