MIAKONKIKH, A. V.; KUZMENKO, V. O.; EFREMOV, A. M.; RUDENKO, K. V. ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ В СМЕСИ SF6 + He + O2: ВЛИЯНИЕ ДАВЛЕНИЯ ПРИ ВЫСОКИХ И НИЗКИХ СОДЕРЖАНИЯХ КИСЛОРОДА. ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», v. 69, n. 1, p. 29-38, 14 ноя. 2025.