Efremov, Alexander M., Sergey A. Smirnov, Vladimir B. Betelin, и Kwang-Ho Kwon. 2024. «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ ZnO В БРОМИСТОМ ВОДОРОДЕ: ВЛИЯНИЕ ИНЕРТНОГО ГАЗА-НОСИТЕЛЯ». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 67 (12), 86-95. https://doi.org/10.6060/ivkkt.20246712.7081.