Efremov, A. M., Smirnov, S. A., Betelin, V. B. и Kwon, K.-H. (2024) «О ВЛИЯНИИ ИНЕРТНОГО ГАЗА-НОСИТЕЛЯ НА КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ И КИНЕТИКУ ТРАВЛЕНИЯ ZrO2 В ПЛАЗМЕ ХЛОРА», ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 67(11), сс. 40-54. doi: 10.6060/ivkkt.20246711.7073.