Etmisheva, S. S., Maksumova, A. M., Nizameeva, G. R., Kholin, K. V. и Abdulagatov, I. M. (2026) «ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ОКСИДА АЛЮМИНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ХЛОРИДА АЛЮМИНИЯ И ВОДЫ МЕТОДОМ КВАРЦЕВОГО ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО МИКРОВЗВЕШИВАНИЯ», ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ», 69(9), сс. 89-97. doi: 10.6060/ivkkt.20266909.6910.