[1]
A. M. Efremov, D. B. Murin, и K. H. Kwon, «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ, КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСИ C4F8+Ar», ХИХТ, т. 62, вып. 2, сс. 31-37, фев. 2019.