A. M. Efremov, V. V. Rybkin, V. B. Betelin, и K.-H. Kwon, «О МЕХАНИЗМАХ ВЛИЯНИЯ КИСЛОРОДА НА ПАРАМЕТРЫ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ И КИНЕТИКУ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ HBr + Cl2 + O2», ХИХТ, т. 62, вып. 10, сс. 76-83, окт. 2019.