A. M. Efremov, A. M. Sobolev, V. B. Betelin, и K.-H. Kwon, «ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar В ПРОЦЕССАХ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ», ХИХТ, т. 62, вып. 12, сс. 108-118, дек. 2019.