A. M. Efremov и A. M. Sobolev, «ОСОБЕННОСТИ КИНЕТИКИ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСЯХ CF4 + Ar + O2 И C4F8 + Ar + O2», ХИХТ, т. 63, вып. 9, сс. 21-27, авг. 2020.