[1]
A. M. Efremov, D. B. Murin, и K. H. Kwon, «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ CF4+C4F8+Ar», ХИХТ, т. 61, вып. 4-5, сс. 31-36, апр. 2018.