A. M. Efremov, S. A. Smirnov, V. B. Betelin, и K.-H. Kwon, «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСИ Cl2 + BCl3 + Ar», ХИХТ, т. 65, вып. 3, сс. 14-21, фев. 2022.