A. M. Efremov и K.-H. Kwon, «СОСТАВ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКA ТРАВЛЕНИЯ SiO2 В СМЕСИ CF4/C4F8/Ar/He: ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ CF4/C4F8 И МОЩНОСТИ СМЕЩЕНИЯ», ХИХТ, т. 65, вып. 10, сс. 47-53, авг. 2022.