A. M. Efremov, S. A. Smirnov, V. B. Betelin, и K.-H. Kwon, «О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 ВО ФТОР- И ХЛОРСОДЕРЖАЩЕЙ ПЛАЗМЕ», ХИХТ, т. 66, вып. 8, сс. 54-62, июн. 2023.