A. M. Efremov, V. B. Betelin, и K.-H. Kwon, «О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 И Si3N4 В ПЛАЗМЕ HBr + Ar», ХИХТ, т. 66, вып. 6, сс. 37-45, май 2023.