A. M. Efremov, S. A. Smirnov, V. B. Betelin, и K.-H. Kwon, «О ВЛИЯНИИ ИНЕРТНОГО ГАЗА-НОСИТЕЛЯ НА КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ И КИНЕТИКУ ТРАВЛЕНИЯ ZrO2 В ПЛАЗМЕ ХЛОРА», ХИХТ, т. 67, вып. 11, сс. 40-54, ноя. 2024.