A. M. Efremov, S. A. Smirnov, V. B. Betelin, и K.-H. Kwon, «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКА РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ ZnO В БРОМИСТОМ ВОДОРОДЕ: ВЛИЯНИЕ ИНЕРТНОГО ГАЗА-НОСИТЕЛЯ», ХИХТ, т. 67, вып. 12, сс. 86-95, ноя. 2024.