A. M. Efremov, A. V. Bobylev, E. M. Kaznacheeva, и K.-H. Kwon, «О ВЛИЯНИИ НАЧАЛЬНОГО СОСТАВА СМЕСИ CF4 + CHF3 + O2 НА ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКУ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ», ХИХТ, т. 68, вып. 1, сс. 39-47, ноя. 2024.