A. V. Miakonkikh, V. O. Kuzmenko, A. M. Efremov, и K. V. Rudenko, «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КОНЦЕНТРАЦИЯ АТОМОВ ФТОРА В СМЕСИ SF6 + Ar + He: ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ Ar/He, ДАВЛЕНИЯ И ВКЛАДЫВАЕМОЙ МОЩНОСТИ», ХИХТ, т. 68, вып. 3, сс. 42-49, янв. 2025.