A. M. Efremov, V. B. Betelin, и K.-H. Kwon, «ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ Ar/He НА СОСТАВ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКУ ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В CF4- И C4F8- СОДЕРЖАЩИХ ТРЕХКОМПОНЕНТНЫХ СМЕСЯХ», ХИХТ, т. 68, вып. 6, сс. 41-51, май 2025.