[1]
S. A. Tarelkin, N. V. Kornilov, M. S. Kuznetsov, N. V. Luparev, S. Y. Martyushov, и V. O. Timoshenko, «ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ГОМОЭПИТАКСИАЛЬНОГО ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКИХ АЛМАЗНЫХ СЛОЕВ НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКУЮ АЛМАЗНУЮ ПОДЛОЖКУ, ЛЕГИРОВАННУЮ АЗОТОМ», ХИХТ, т. 68, вып. 9, сс. 60-65, июн. 2025.