S. S. Etmisheva, A. M. Maksumova, G. R. Nizameeva, K. V. Kholin, и I. M. Abdulagatov, «ИССЛЕДОВАНИЕ ПРОЦЕССА АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ ОКСИДА АЛЮМИНИЯ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ХЛОРИДА АЛЮМИНИЯ И ВОДЫ МЕТОДОМ КВАРЦЕВОГО ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОГО МИКРОВЗВЕШИВАНИЯ», ХИХТ, т. 69, вып. 9, сс. 89-97, июл. 2026.