Efremov, Alexandr M., и Kwang-Ho Kwon. «ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ В СМЕСИ CF4/O2/Ar». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 60, no. 1 (1): 50-55. просмотрено ноябрь 23, 2024. https://ctj-isuct.ru/article/view/13.