Efremov, Alexander M., Alexander M. Sobolev, Vladimir B. Betelin, и Kwang-Ho Kwon. «ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar В ПРОЦЕССАХ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 62, no. 12 (декабрь 8, 2019): 108-118. просмотрено декабрь 12, 2024. https://ctj-isuct.ru/article/view/1820.