Golovanov, Anton V., Nicolay V. Luparev, и Boris P. Sorokin. «МОДИФИКАЦИЯ АЛМАЗНОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПРИ ФОТОЛИТОГРАФИИ, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЙ ОЧИСТКЕ И МАГНЕТРОННОМ ОСАЖДЕНИИ». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 63, no. 11 (октябрь 27, 2020): 49-56. просмотрено ноябрь 22, 2024. https://ctj-isuct.ru/article/view/3042.