Efremov, Alexander M., Vladimir B. Betelin, Konstantin A. Mednikov, и Kwang-Ho Kwon. «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ В СМЕСЯХ ФТОРУГЛЕРОДНЫХ ГАЗОВ С АРГОНОМ И КИСЛОРОДОМ». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 64, no. 7 (июнь 18, 2021): 46-53. просмотрено ноябрь 23, 2024. https://ctj-isuct.ru/article/view/3645.