Efremov, Alexander M., Vladimir B. Betelin, и Kwang-Ho Kwon. «ПАРАМЕТРЫ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В ПЛАЗМЕ C6F12O + O2». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 65, no. 4 (март 19, 2022): 30-38. просмотрено декабрь 22, 2024. https://ctj-isuct.ru/article/view/3924.