Efremov, Alexander M., Daria E. Bashmakova, и Kwang-Ho Kwon. «ОСОБЕННОСТИ СОСТАВА ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКИ АТОМОВ ФТОРА В СМЕСИ CHF3 + O2». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 66, no. 1 (январь 1, 2023): 48-55. просмотрено декабрь 22, 2024. https://ctj-isuct.ru/article/view/4430.