Efremov, Alexander M., Daria E. Bashmakova, и Kwang-Ho Kwon. «О ВЛИЯНИИ КИСЛОРОДА НА КИНЕТИКУ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ В СМЕСЯХ CF4 + O2 И C4F8 + O2». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 67, no. 1 (декабрь 9, 2023): 51-59. просмотрено ноябрь 22, 2024. https://ctj-isuct.ru/article/view/4639.