Efremov, Alexander M., Vladimir B. Betelin, и Kwang-Ho Kwon. «О СРАВНЕНИИ МЕХАНИЗМОВ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ SiO2 И Si3N4 В ПЛАЗМЕ HBr + Ar». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 66, no. 6 (май 3, 2023): 37-45. просмотрено ноябрь 21, 2024. https://ctj-isuct.ru/article/view/4861.