Efremov, Alexander M., Sergey A. Smirnov, Vladimir B. Betelin, и Kwang-Ho Kwon. «О ВЛИЯНИИ ИНЕРТНОГО ГАЗА-НОСИТЕЛЯ НА КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ И КИНЕТИКУ ТРАВЛЕНИЯ ZrO2 В ПЛАЗМЕ ХЛОРА». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 67, no. 11 (ноябрь 5, 2024): 40-54. просмотрено ноябрь 13, 2024. https://ctj-isuct.ru/article/view/5726.