Efremov, Alexander M., Alexander V. Bobylev, Ekaterina M. Kaznacheeva, и Kwang-Ho Kwon. «О ВЛИЯНИИ НАЧАЛЬНОГО СОСТАВА СМЕСИ CF4 + CHF3 + O2 НА ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКУ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 68, no. 1 (ноябрь 28, 2024): 39-47. просмотрено декабрь 1, 2024. https://ctj-isuct.ru/article/view/5864.