Miakonkikh, Andrey V., Vitaly O. Kuzmenko, Alexander M. Efremov, и Konstantin V. Rudenko. «ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ И КОНЦЕНТРАЦИЯ АТОМОВ ФТОРА В СМЕСИ SF6 + Ar + He: ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ Ar/He, ДАВЛЕНИЯ И ВКЛАДЫВАЕМОЙ МОЩНОСТИ». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 68, no. 3 (январь 10, 2025): 42-49. просмотрено январь 17, 2025. https://ctj-isuct.ru/article/view/6057.