Efremov, Alexander M., Vladimir B. Betelin, и Kwang-Ho Kwon. «ВЛИЯНИЕ СООТНОШЕНИЯ Ar/He НА СОСТАВ ПЛАЗМЫ И КИНЕТИКУ ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ В CF4- И C4F8- СОДЕРЖАЩИХ ТРЕХКОМПОНЕНТНЫХ СМЕСЯХ». ИЗВЕСТИЯ ВЫСШИХ УЧЕБНЫХ ЗАВЕДЕНИЙ. СЕРИЯ «ХИМИЯ И ХИМИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ» 68, no. 6 (май 14, 2025): 41-51. просмотрено июнь 1, 2025. https://ctj-isuct.ru/article/view/6231.