Efremov AM, Murin DB, Kwon KH. ПАРАМЕТРЫ ПЛАЗМЫ, КОНЦЕНТРАЦИИ АКТИВНЫХ ЧАСТИЦ И КИНЕТИКА ТРАВЛЕНИЯ В СМЕСИ C4F8+Ar. ХИХТ [Интернет]. 7 февраль 2019 г. [цитируется по 21 ноябрь 2024 г.];62(2):31-7. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/1025