Efremov AM, Kwon K-H. ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ В СМЕСИ CF4/O2/Ar. ХИХТ [Интернет]. 1 [цитируется по 23 ноябрь 2024 г.];60(1):50-5. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/13