Efremov AM, Sobolev AM, Betelin VB, Kwon K-H. ПАРАМЕТРЫ И СОСТАВ ПЛАЗМЫ CF4 + O2 + Ar И CHF3 + O2 +Ar В ПРОЦЕССАХ РЕАКТИВНО-ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ. ХИХТ [Интернет]. 8 декабрь 2019 г. [цитируется по 4 декабрь 2024 г.];62(12):108-1. доступно на: https://ctj-isuct.ru/article/view/1820